لم تُحرم الأسرة العلوية من ثواب الوقف فأسس محمد على وقفية طاش يوز، قبالة اليونان، ومساحتها نحو ٥٠ كيلومترا مربعا، ووقفية تحفيظ القرآن، ووقفية تكية مكة وتكية المدينة وغير ذلك، وجميعها تخدم أغراضا خيرية ودينية وتعليمية، وتدل على امتلاك الحاج رؤية استراتيجية بعيدة المدى، وأنشأ إبراهيم وقفًا وهو والى على بندر جدة.
كان أهليا، أى معنى بالإنفاق على الأهل أساسا مع بعض الخير، ولُوحظ أنه ساوى فيه بين الرجل والمرأة، ويوجد فى حجة الوقف عبارة «أن يرمى على قبره خوص وريحان وتتم قراءة قرآن عظيم الشأن»، وتفرقة قرص، وتكرر ذلك بالنص كثيرا فى باقى حجج الأسرة العلوية، أما عباس الأول فكان يسمى كافل الديار المصرية وقد أنشأ وقفا على شيخ طرق صوفية بالدلتا غير معروف وجعل زوجة الشيخ ناطرة الوقف، ومن شروطه عمل ٢ مولد و٦ ختمات شريفة وتفرقة قرص، وهو من أنشأ تكية درب الجماميز، وعن أوقاف سعيد فعززت تكية المدينة ووقف قولة وغطت مساحات كبيرة قبلى وبحرى وتعرضت وثائقها لتلف وخرق وحرق.
وكان لأوقاف إسماعيل وأبعادها الاجتماعية والثقافية والاستراتيجية، حيث خصص أوقافا للدراويش وفقراء المتصوفة بألوانهم، وانطوت عليه أعماله الوقفية من بعد دينى وخيرى قوى و عنى بالأزهر والإسلاميات، وأسس خمسة أوقاف على المساجد ومقامات الأولياء منهم وقف بـ ١٠ آلاف فدان، وجعل نفسه ناظره وولاة مصر من بعده إلى أبد الآبدين ودهر الداهرين، وواصل إسماعيل عمل الخير حتى بعد عزله، حيث أقام كتاتيب وتحفيظ قرآن، وهو أبو التعليم الأهلى الموروث، وأوقف عليه كثيرا، وبقدر عنايته بأن تصبح مصر قطعة من أوروبا اهتم بتثبيت أركان الهوية واللغة والتاريخ والدين، وأدرك دور الوقف فى مواجهة الغزو الثقافى.
ومن أعماله التى لا تنسى استعادة وادى الطميلات، بالإسماعيلية، بثمن فادح، من ديليسبس، بعد أن أدرك أهميته الاستراتيجية لحماية أمن مصر، وأوقفه، وهو بمساحة نحو ٢٢ ألف فدان. كما أنه، وهو فى إسطنبول، أنشا أوقافا أهلية للصرف على أهله بحيث لم يبق له أملاك خاصة إلا هدومه لذا لم يكتب وصية، وقبل عامين من وفاة الخديو توفيق فإنه أوقف فوق ١٨٠٠ فدان للكتبخانة الخديوية «دار الكتب»، وهى التى كان على مبارك بدأ من قبل فى تأسيسها بتوجيه من إسماعيل.
وتم فى عهد عباس الثانى بناء مقر وزارة الأوقاف الراهن بباب اللوق من تصميم محمود بك فهمى، وبدأ العمل بالجامعة الأهلية بدعم عمته الأميرة فاطمة، وتم وقف ما إجماليه ١٢.٨ ألف فدان على مساجد ومدارس وكتاتيب وعلى فقراء، وصرف على رجال ونساء غير قادرين، فى الشروط نقرأ أن أى وقف يدفع ما عليه من العشور لجهة الميرى، ولا يجوز وقف المغصوب أو المسروق أو المجهول. وتلك شروط تكررت فلم يكن الوقف أداة للتهرب من الضرائب كما قال البعض، وهو قد أوقف على مدرسة دمنهور الصناعية.
وعن أوقاف فؤاد فقد أوقف ١٦١٠ فدادين أراض ببلبيس بعد عام من توليه، كوقف أهلى يتحول خيرى بعد وفاة الواقف، لكن تفاصيله غير معروفة رغم حداثة العهد. وفى آثاره وقف على مسجد محمد كريم برأس التين رقم ٢٩٤٨٨ بالأوقاف، وأدرج «فؤاد» مادة عن الأوقاف فى دستور ٢٣. أما أول وقف من فاروق فكان ١٧٤٤ فدانا على الملكة فريدة
أما وقفية الأميرة زينب، ابنة محمد على، فقد عنيت بالأزاهرة والفقراء، و أم عباس أو (بمبا قادن) فقد وصفتها الحجة برابعة العدوية الثانية. أنفقت هذه السيدة على ١٩ جامعا وتكية وعلى عمليات إعتاق وتطوير تعليم وأقامت أول مدرسة لتعليم البنات فى مصر، وهناك أوقاف البرنسيسة فاطمة بنت إسماعيل، التى توفيت ١٩٢٠، وتوجد لوحة باسمها على مدخل كلية آداب القاهرة. ليس من أعمالها تأسيس الجامعة الأهلية فقط، فلها أوقاف أخرى أهلية وخيرية وقد وقفت كل ما تملك بما فى ذلك الحلى، وبنت مدرسة لتعليم البنين والبنات معا علوما دينية ولغوية وأخرى حديثة، وجعلت التعليم مجانا وأجرت مرتبات للنظار والمدرسين والموظفين، واشترطت أن يكونوا مسلمين، كما اشترطت الحرمان من أنصبة الوقف لمن يخرج عن الملة أو يتزوج عير مسلمة، وقد كان إلى جوارها دوما ٢ مدموزيل رومية ومساعد خاص غير مسلم ومنحتهما حقوقهما.